DOI：10.3969/j.issn.1672-3872.2025.20.038
作 者：赵建锋（浙江赛勒新能源材料有限公司，浙江 金华 321100）
摘 要：多晶硅生产企业物料介质多为易燃、易挥发、有毒、具腐蚀性的液体，为保证装置长周期安全运行和符合环保要求，屏蔽泵作为一种无泄漏泵被广泛应用于关键设备，其故障、损坏易引发生产装置安全事故和停产停工的风险。基于此，文章以某多晶硅生产企业试生产时三氯氢硅输送泵损坏为案例，从设备本身和工艺条件两个方面进行分析，发现存在逆循环管路排气不畅、泵抽空和进口流量不稳、运行中装置汽蚀余量偏小和泵出口流量过小等问题，针对性实施逆循环管线整改、过滤器更换等措施，有效保障了装置安全平稳运行。
关键词：屏蔽泵；磨损；汽蚀；故障分析
引文信息：[1]赵建锋.逆循环屏蔽泵故障分析[J].南方农机，2025，56(20)：150-152.
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